源乾曜出身于鲜卑秃发氏。南凉国主秃发傉檀之子秃发破羌投降北魏,赐姓名为源贺。源贺生源怀,源怀生源子恭,源子恭生源彪,源彪生源师民。源师民是源乾曜的祖父,在隋朝官至刑部侍郎。
源乾曜父亲源直心,唐高宗年间官至司刑太常伯(即刑部尚书),后因罪被流放岭南,死于贬所。兄长源乾珍,史籍只载其名,生平事迹不详。
源乾曜生有四子:长子源复,官至华州刺史;次子源弼,官至工部郎中;三子源洁,官至河南县令;幼子源清,娶唐玄宗之女真阳公主,拜驸马都尉。
源乾曜(?-731年),相州临漳(今河北临漳)人,唐朝宰相,北魏太尉源贺之后,刑部尚书源直心之子。源乾曜进士出身,历任江南道巡察使、谏议大夫、梁州都督等职,716年(开元四年),拜黄门侍郎、同平章事,成为宰相,不久与姚崇被一同免官,改任京兆尹,四年后复任宰相,不久升任侍中,后又因针对封禅泰山的问题与时任宰相张说发生矛盾被夺去实权。源乾曜任相期间,张嘉贞、李元纮等人先后掌握权力,但是源乾曜在重大问题上从不发表意见。729年(开元十七年),源乾曜被罢去侍中之职,后任太子少傅,封安阳郡公,两年后病逝于长安,追赠幽州大都督。